序号

名稱

應用情況

典型設備

真空度（托）

應用實例

1

宇航環境的模拟

宇航的軌道環境基本上是真空環境，
飛行器在發射之前必須在地面進行空間環境的模拟試驗。各種大(dà)小(xiǎo)不同的模拟器都是真空設備。包括衛星、飛船的熱真空模拟、材料的評價以及推進器試驗、載人摸拟試驗等。綜合運用真空獲得、測試、檢漏、工(gōng)藝等技術。在地面複現空間環境，評價飛行器，發現和排除故障，提高可靠性。

機械泵
分(fēn)子泵
低溫泵

10-2~10-14

大(dà)宇航環境摸拟設備的容器有1000立方米。

2

加速器技術

帶電(diàn)粒子在加速場條件下(xià)被加速。必
須使加速管從離(lí)子源到靶室全處于高真空和超高真空條件下(xià)。以減少帶電(diàn)粒子與氣分(fēn)子發生(shēng)碰撞而散射損失其能量。因而，加速器必備真空系統。在真空獲得和測量、檢漏等技術上都有其特珠要求。

钛泵
低溫泵

10-11~10-12

美國已有300直徑的不鏽鋼電(diàn)子回旋加速器

3

可控熱核應用技術

是在有效空間中(zhōng)人爲地控制發生(shēng)熱核反應的一(yī)種設備、它是高真空、高溫技術及電(diàn)磁技術的結合

機械泵
擴散泵
加冷阱

10-2~10-10

4

真空輸送

空氣和粒狀物(wù)料在真空的抽吸作用下(xià)一(yī)起流動，至限定地點後經離(lí)心器将物(wù)料和空氣分(fēn)離(lí)、真空輸送、如谷物(wù)、煤粉、煙草，水泥、粉狀食品等
真空輸送吸入壓力通常300~500托或600~700托。前者混合比(被輸送材料的重是和空氣重量的比例)可達20,輸送距離(lí)達400~500米。輸送能力達200噸/小(xiǎo)時;後者棍合比達3~5，輸送距離(lí)不大(dà)于30米，輸送能力3~10噸/小(xiǎo)時，通常混合比多爲l~10。真空輸送亦可用于某些液态物(wù)質的輸送

渦輪鼓風機
水環泵（水蒸汽噴射泵）

300~700

(1)在電(diàn)解鉛的生(shēng)
産中(zhōng)應用真空輸送
将電(diàn)解槽内的鉛水
送至鉛水包内，采
用的真空泵爲2台
SZ~3水環泵
(2)在化工(gōng)、煙草、
味精工(gōng)業中(zhōng)亦已獲
得應用

5

真空過濾

真空過濾機的過濾滾筒在360度區間内運動，180度區間内爲真空吸料過濾，90度區間爲真空吸水幹燥，90度區間爲充氣排料，從而在整個360度區間内進行連連續生(shēng)産。
真空過濾可用以獲取混合液中(zhōng)的固狀物(wù)料或用于濾清，前者如礦山或煤碳工(gōng)業的洗選等
稀有金屬“鎳"的生(shēng)産過程亦采用了
真空過濾、真空輸送等工(gōng)藝

水環泵

水蒸汽噴射泵

50~100

(1)有色金屬冶煉的氧化鋁采用真空過濾提取AI(OH)3.
(2)某鋼廠用5台Sz-3水環泵配真空過濾機進行污
水淨化處理，淨化後作循環水使用.
(3)某選礦廠真空過濾機配1500公斤/小(xiǎo)時(100托)
水蒸汽噴射泵，使用效果良好。

6

真空幹燥

真空幹燥通常指從固體(tǐ)材料中(zhōng)(亦有
液态材料)去(qù)除水分(fēn)或有機溶劑等揮發性
成分(fēn)，氣相中(zhōng)壓力低于100托.特别是壓
力低于10托時，真空對幹燥過程将起顯著的影響.真空幹燥的特點是在較低的溫度下(xià)可獲得很高的幹燥速度，因此特别适合于不宜升溫的材料或很難幹燥的材料.通常，在進行真空幹燥的過程中(zhōng)應供給适當的汽化潛熱。

機械泵

水蒸汽噴射泵

幾托~幾十托

在電(diàn)氣工(gōng)業中(zhōng),絕緣紙(zhǐ)電(diàn)纜的真空幹燥，合成纖
維工(gōng)業中(zhōng)錦綸、滌綸生(shēng)産的切片幹燥。食品工(gōng)業中(zhōng)乳品，茶精、肉類等的真空幹燥.其他如在醫藥、農藥、染料等工(gōng)業中(zhōng)皆有廣
泛的應用。

7

真空蒸餾

真空蒸餾的目的是使物(wù)質分(fēn)離(lí)精制，
真空蒸餾在石油和化工(gōng)工(gōng)業中(zhōng)應用極廣，
例如，各種有機油類的蒸餾、可塑劑工(gōng)業
中(zhōng)磷酸三酯和磷苯二甲酸二丁酯的蒸餾、
合成樹(shù)脂原料、各種高級酒精、高級脂肪
酸的真空蒸餾等，藥品工(gōng)業中(zhōng)維生(shēng)素A、
維生(shēng)素E和苯乙稀的真空蒸餾。香料工(gōng)業的香乙醇、高級乙醇脂的蒸餾。油脂工(gōng)業的精制、食品工(gōng)業中(zhōng)的制酒、香精的蒸餾等。

往複式真空泵
水環式真空泵
旋片式機械泵

760~10

(1)某廠番茄濃縮用水蒸汽噴射系泵(抽氣量35公斤/小(xiǎo)時)一(yī)台，真空度30托，使用效果良好.蕃茄産量提高将近一(yī)倍，(2)年産15萬噸的真空制鹽設備與平鍋制鹽相比，燃料節約40%。

8

真空制鹽

在真空度爲50-100托除盡水或可揮
發成分(fēn)，得到精制鹽

滑閥式真空泵

水蒸汽噴射泵

幾百托~十幾托

某鹽廠,真空
制鹽（與鍋制鹽相
比)燃料消耗減少
三分(fēn)之二，勞動生(shēng)
産率提高了四倍，
成本減少44%

9

真空濃縮

在食品工(gōng)業中(zhōng)的應用，如各種果汁、
果醬、蛋品、乳制品(煉乳、奶粉)、水
果糖等.又(yòu)如化工(gōng)染料的濃縮、制酸，制
堿，以及造紙(zhǐ)工(gōng)業中(zhōng)紙(zhǐ)漿的濃縮等

10

真空除臭

主要用于油脂工(gōng)業中(zhōng)粗油脂的精制，
在去(qù)除油脂中(zhōng)固有的臭氣或因氣化、分(fēn)解
所生(shēng)成的有臭物(wù)質的同時也進行真空脫色，以保證油脂制品的質量和色澤

11

真空結晶

真空濃縮和結晶通常在數個“蒸汽罐”内進行，稱多效蒸發罐(例如制鹽、制糖的真空濃縮結晶常采用4效或5效蒸發罐)。用真空泵在諸罐内造成不同程度的真空:第一(yī)效蒸發罐内的壓力(或被濃縮結晶液的沸點)高于第二效蒸發罐内的壓力(或沸點〕，則第一(yī)效蒸發罐内排出的二次蒸氣可作爲第二效蒸發罐的加熱蒸汽，以此類推.因此，真空依縮結晶與常壓下(xià)的加熱結晶相比可大(dà)大(dà)提高燃料的利用效率。真空濃縮結晶更易于實現機械化、自動化。更利于副産品的綜合利用，因此能有效地降低成本，大(dà)大(dà)提高勞動生(shēng)産率和綜合利用率

12

冷凍幹燥

冷凍幹燥或稱升華幹燥.首先将被處理的濕潤材料冷卻.使其中(zhōng)水分(fēn)或其他煤質處于冷凍狀态.然後迅速置于真空下(xià)使其直接從固态升華而獲得幹燥制品，冷凍幹燥的應用:生(shēng)物(wù)材料的脫水;生(shēng)物(wù)組織研究中(zhōng)各器官和組織切片的冷凍幹燥;移植用組織的保存;細菌，抗生(shēng)素、病毒、疫苗經冷凍幹燥後，再溶性好;血漿、血清、培養液等經冷凍幹燥保存期長，組
織成分(fēn)不變，再溶性良好;冷凍幹燥工(gōng)藝在食品工(gōng)業中(zhōng)也獲得迅速發展，大(dà)鄉數食品(例如肉類、水産、糧食、乳類、水果、蛋類和飲料等)都可以加工(gōng)成冷凍幹燥産品，其獨特的優點是食品的營養成分(fēn)和色、香、味被大(dà)限度的保存下(xià)來，而且重量輕、體(tǐ)積小(xiǎo)、保藏期長複水率可達9o%以上

羅茨增壓泵+機械泵

油擴散泵+機械泵

水蒸汽噴射泵

1~10-3

某罐頭食品廠2噸真空冷凍幹燥設備用水蒸汽噴射泵(60托)代替羅茨真空泵-機械泵機組，大(dà)幅度降低冷凍幹燥産品成本

13

真空浸漬

将浸漬劑浸入被浸漬物(wù)質(常是多孔性物(wù)
質)中(zhōng)去(qù)，以提高被浸漬物(wù)品的性能.在真空條件下(xià)(或先抽真空然後加工(gōng))一(yī)定粘度的浸漬劑更容易均勻地充滿被浸漬物(wù)品的微小(xiǎo)孔隙，因而産品性能更好。真空浸漬在電(diàn)氣絕緣工(gōng)業中(zhōng)獲得廣泛的應用。如将絕緣材料浸入纖維性材料中(zhōng)去(qù)，可大(dà)大(dà)提高其絕緣性能和使用壽命

旋片式真空泵

滑閥泵（水蒸汽噴射泵）

＜5
＜1
幾托~幾十托

各電(diàn)機廠、絕緣材料廠、碳素廠，國内某耐火(huǒ)材料廠在生(shēng)産鋼水包的“
滑動水口”新産品時，成功地采用了真空浸漬技術，水口兩配合滑動面大(dà)
于8以上，從而解決了鋼水洩漏問題

14

真空調濕

自然纖維(如絲)、人造纖維、煙草、紙(zhǐ)張等産品需調整其水份含量(主要是增加其水份)，使其含水量均勻和恒定。1,通入水蒸汽;2。将熱水通過分(fēn)離(lí)器注入;3.将蒸汽和水混合并通過分(fēn)離(lí)器注入.絲的調濕通常在注入水或蒸汽後需再次進行真空幹燥、冷卻、以便調濕均勻與适度

水環式真空泵

蒸汽噴射泵+水環式真空泵

水蒸汽噴射泵

1~20

目前我(wǒ)(wǒ)們煙草工(gōng)業中(zhōng)，煙草的真空回潮多采用水環式真空泵（SZ-3）。缺點是真空度低，回潮周期在合适的回潮溫度下(xià)，不易回透，如提高回潮溫度，則又(yòu)會破壞煙葉質量。某煙廠改用水蒸汽噴射泵。提高了處理真空度，改善了回潮質量。

15

真空滲鉻

鉻在汽化溫度(917℃)以上真空度10-2托下(xià)産生(shēng)較大(dà)的蒸汽壓力、鉻蒸汽原子向鋼鐵表面沉積并進行熱擴散，從而表面生(shēng)成一(yī)層牢固的鉻鐵合金，它具有抗高溫氧化、耐腐蝕等性能。真空滲鉻是提高零件壽命、節約金屬元素的有效途徑之一(yī)。

旋片式真空泵

滑閥泵
水蒸汽噴射泵

≤10-2

國内有些工(gōng)廠已成功使用

16

真空熱處理

在大(dà)氣中(zhōng)的熱處理，金屬加熱表面會受到氧、水蒸汽等的氧化而生(shēng)成氧化物(wù).采用高純度的隋性氣體(tǐ)作爲保護氣氛，成本很高.真空不但是一(yī)種“廉價的”隋性氣氛，而且在真空條件下(xià)還可去(qù)除金屬表面原有的氧化物(wù)，處理後很少發生(shēng)變形，從而使加工(gōng)餘量減至小(xiǎo)甚至處理後根本無需加工(gōng).由于真空的脫氣效果可提高産品的強度和耐磨性，真空熱處理工(gōng)序
穩定，熱處理爐幾乎可以全部自動化，同時它還是一(yī)種安全、無煙、無臭的工(gōng)藝過程，目前真空熱處理的實際應用還僅限于高級工(gōng)具鋼和待殊鋼(如高合金鋼和高速鋼)，特别是形狀複雜(zá)，處理後無需研磨的制品

機械泵+擴散泵
水蒸汽噴射泵

10-1~10-3〕托先高真空後經常在0.1托左右壓力下(xià)加熱，以免Cr,Mo等高蒸汽壓合
金揮發損失

日本對SKH，冷鍛用沖模進行鹽俗熱處理，加工(gōng)餘量爲0.15-0.3毫米，處理後再進行研磨、抛光
加工(gōng).但改用真空熱理處後，加工(gōng)餘量僅爲0.08毫米。日本過去(qù)用鹽浴熱處理SKD11冷鍛模具鋼(生(shēng)産不鏽鋼螺釘)模具平均成形總數約2~2.5萬件，改真空熱處理後，模具在處理
後不必加工(gōng)即直接使用，模具使用壽命延長3-4倍

17

真空離(lí)子氮化

離(lí)子氮化是把待處理的工(gōng)件放(fàng)在真空容器内.然後充入含氮的氣體(tǐ).通入直流高壓電(diàn)後，使工(gōng)件表面層轟擊滲入氮原子，并形成氮化層的，表面熱}Lm的斷方法，它具有氮化時間短，變形小(xiǎo)，耐磨、耐脆，省氨、省電(diàn)，改善勞動條件，實現無公害等優點，是一(yī)種很有前途的表面熱處理的新方法

旋片式真空泵+機械泵

1~10

18

真空制冷

水在不同的壓力下(xià)有不同的沸點，而在沸點溫度時,水變成同溫度的蒸汽就需要吸收大(dà)盆的汽化熱，将常溫的水導入低壓容器，則水溫終将降至該壓力下(xià)所對應的沸騰溫度

機械泵
水蒸汽噴射泵

4~20

國内已多有應用

19

真空處理

冶金工(gōng)業中(zhōng)的鋼液真空處理至今已有十幾種形式，特點是處理批量大(dà)、時間短、成本低，鋼液質量高，主要是去(qù)除鋼中(zhōng)氣體(tǐ)和部分(fēn)夾渣，使其含量大(dà)大(dà)減少.鋼液經真空處理進行脫氧，脫氧産物(wù)或金屬氧化物(wù)以氣态自鋼中(zhōng)逸出.因而處理後鋼的純淨度可接近或達到真空感應爐的水平。處理中(zhōng)還可加入大(dà)量合金元素，以提高鋼的性能。

水蒸汽噴射泵
機械泵+羅茨泵

1~0.1

我(wǒ)(wǒ)國1956年扮撫順鋼廠就有20噸真空處理設備。繼有鞍鋼建成100噸
D-H真空處理裝置。上海重機廠亦有100噸R-H真
空處理裝置、西德，日本都有500噸并帶等離(lí)子加熱的真空處理裝置

20

真空燒結

在真空條件下(xià)，對粉末狀金屬或氧化物(wù)加
溫，加壓成形(或不加壓)進行燒結.其溫度
低于熔化溫度，高于1ooo℃，尤其适用于高熔點的金屬或氧化物(wù)制品.真空燒結不氧化、不脫碳、組織緻密、質量好。所需真空度:純鐵0.1-0.01托;不鏽鋼0.01托；鋁鑲钴合金、磁鐵0.1-0.01托；WC、Tic、Ti、Cr及以其爲基體(tǐ)的硬質合金0.05-0.1托。亦有需要10-5~10-8托高真空燒結的.

水蒸汽噴射泵
機械泵
增壓泵
擴散泵

1~10-2

用于提高碳化欽基鋼結構硬質合金的質量，微碳鉻鐵的真空燒結，提高性能

21

真空熔煉

金屬通過真空冶煉、燒結、熱處理等工(gōng)藝過程都能提高質量和性能，真空冶金有獨特的優點:①使金屬及合金中(zhōng)的氣體(tǐ)與夾雜(zá)含量大(dà)大(dà)減少，提高性能.②可準确控制化學成分(fēn)，使合金性能穩定。③提高緻密性、均勻性和可塑性，消除鋼錠白(bái)點、偏析、發裂 ④可熔煉大(dà)氣中(zhōng)不能熔鑄的欽、锆、鈾等金屬,真空廣泛應用于不鏽鋼、電(diàn)工(gōng)鋼、軸承鋼、高溫合金、難熔金屬的熔煉和鑄造

水蒸汽噴射泵
旋片式真空泵滑閥泵
增壓泵
擴散泵

1~10-5

我(wǒ)(wǒ)國已有幾噸的真空感應爐、自耗護，200 - 600千瓦電(diàn)子轟擊爐等冶金設備，國外(wài)已有250噸真空電(diàn)孤方電(diàn)弧爐，美國有12000千瓦電(diàn)子轟擊爐

22

真空鍍膜

在真空中(zhōng)将固體(tǐ)(基體(tǐ))表面澱積上金屬
或非金屬（半導體(tǐ)、介質）薄膜的技術。廣泛應用在無線電(diàn)工(gōng)業(集成電(diàn)路、電(diàn)阻、電(diàn)容)，電(diàn)真空工(gōng)業(攝象管的靶、顯像管)，光學工(gōng)業(天文反射鏡)及原子工(gōng)業和字航技術中(zhōng)，輕紡工(gōng)業中(zhōng)的金絲銀線、塑料金屬化、商(shāng)标包裝用薄膜、制鏡等也都采用真空鍍膜技術

旋片式真空泵、增壓泵、羅茨泵、擴散泵、離(lí)子泵、升華泵

10-2~3*10-9

我(wǒ)(wǒ)國各真空設備廠都有各自系列的真空鍍膜機.如蒸發、濺射和離(lí)子鍍膜機等.實例有濾光膜、激光膜、分(fēn)光膜、冷光膜、增透膜、磁性膜‘超導膜和以鋁代銀的鍍鋁鏡等

23

低溫絕熱

中(zhōng)真空(>l0-3托)絕熱已有廣泛的應用，如低溫液化設備、低溫貯運設備、低溫模拟試驗和超導磁場的保溫等

旋片式真空泵、增壓泵、擴散泵

10-3~10-5

某廠20m3真空粉末絕熱器蒸發率每天0.5%，還有液氨容器等

24

石油工(gōng)業

從油田開(kāi)采的油井除氣、注水脫氧、貯運
排氣到煉油廠的減壓蒸餾、石油産品精制以及潤滑脂的脫水脫氣、真空過濾等都多有應用

往複泵
旋片泵
水環泵
蒸汽噴射泵

10~700

減壓蒸餾-每個煉油廠都有各套以上的裝置，各種
真空過濾脫氣低溫裝置，已都普遍建成

25

其他

真空的應用範圍極爲廣泛。除上述主要方面以外(wài)，還有很多方面都有其具體(tǐ)的應用。如真空包裝、真空機械手、真空貯存、農林業中(zhōng)糧食種子樹(shù)種的真空貯存、電(diàn)瓷陶瓷和土木建築中(zhōng)
真空煉泥、真空吸附，水泥石棉制品脫水、鑄造生(shēng)産中(zhōng)的真空負壓造型、真空壓鑄等