1、真空泵的工(gōng)作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工(gōng)作壓強請求。如：真空鍍膜請求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一(yī)個數量級。

2、正确地選擇真空泵的工(gōng)作點。每種泵都有一(yī)定的工(gōng)作壓強範圍，如：擴散泵爲10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強範圍内，泵的抽速随壓強而變化，其穩定的工(gōng)作壓強範圍爲5×10-4~5×10-6mmHg。因此，泵的工(gōng)作點應該選在這個範圍之内，而不能讓它在10-8mmHg下(xià)長期工(gōng)作。又(yòu)如钛升華泵能夠在10-2mmHg下(xià)工(gōng)作，但其工(gōng)作壓強應小(xiǎo)于1×10-5mmHg爲好。

3、真空泵在其工(gōng)作壓強下(xià)，應能排走真空設備工(gōng)藝過程中(zhōng)産生(shēng)的全部氣體(tǐ)量。

4、正确地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因此，有時選用一(yī)種泵不能滿足抽氣請求，需求幾種泵組合起來，相互補充才幹滿足抽氣請求。如钛升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離(lí)子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離(lí)子泵）對氩有一(yī)定的抽速，兩者組合起來，便會使真空安裝得到較好的真空度。另外(wài)，有的真空泵不能在大(dà)氣壓下(xià)工(gōng)作，需求預真空；有的真空泵出口壓強低于大(dà)氣壓，需求前級泵，故都需求把泵組合起來運用。

5、真空設備對油污染的請求。若設備嚴厲請求無油時，應該選各種無油泵，如：水環泵、分(fēn)子篩吸附泵、濺射離(lí)子泵、低溫泵等。假如請求不嚴厲，能夠選擇有油泵，加上一(yī)些防油污染措施，如加冷阱、障闆、擋油阱等，也能到達清潔真空請求。

6、理解被抽氣體(tǐ)成分(fēn)，氣體(tǐ)中(zhōng)含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需求曉得氣體(tǐ)成分(fēn)，針對被抽氣體(tǐ)選擇相應的泵。假如氣體(tǐ)中(zhōng)含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體(tǐ)，應該思索在泵的進氣口管路上裝置輔助設備，如冷凝器、除塵器等。

7、真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。假如環境不允許有污染，能夠選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外(wài)。

8、真空泵工(gōng)作時産生(shēng)的振動對工(gōng)藝過程及環境有無影響。若工(gōng)藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

9、真空泵的價錢、運轉及維修費(fèi)用。